е число точек
пробоотбора равно 10 (10 / (0,1 x \/100)).

В случае   подачи  
воздуха   в  помещение 
через   потолок  точки

пробоотбора расположены
следующим образом (вид сверху; точки 1 + 5

и 1' + 5' соответствуют двум
различным уровням по вертикали):

 

                 
┌───────────────────────────┐

                  │  .
1(1')         . 2(2')  │

                  │                           │

                  │    
       . 5(5')        │

                  │                           │

                  │  .
3(3')         . 4(4')  │

                 
└───────────────────────────┘

 

4.1.6. Ограничения на местоположение точек пробоотбора задаются
следующим образом: не менее двух точек используется при пробоотборе в любой
чистой зоне. Точки пробоотбора должны распределяться в пространстве чистой зоны
равномерно, за исключением ограничений, налагаемых размещением оборудования в
чистой зоне. По крайней мере, одна проба должна отбираться в каждой из точек,
определяемых в подразделе 4.1.4, и, как минимум, 5 проб - в каждой из точек,
определяемых в подразделе 4.1.5. В каждой точке может быть взято различное
количество проб.

4.1.7. Задаются следующие требования к пробоотбору: в табл. 2
представлены минимальные объемы проб (в литрах) для различных классов чистоты и
размеров частиц.

 

Таблица 2

 

МИНИМАЛЬНЫЙ ОБЪЕМ ПРОБЫ ВОЗДУХА (В ЛИТРАХ)

В ЗАВИСИМОСТИ ОТ КЛАССА ЧИСТОТЫ И ИЗМЕРЯЕМОГО

РАЗМЕРА ЧАСТИЦ

 




Размер 
частиц 
(в мик-
ромет-  
рах)   


Минимальный объем пробы
воздуха (в литрах)      




класс чистоты                    




100    


1000   


10000   


100000   




0,2    


2,83        


не измеряется


не измеряется


не измеряется




0,3    


2,83        


не измеряется


не измеряется


не измеряется




0,5    


5,66        


2,83        


2,83        


2,83        




5,0    


не измеряется


85          


8,5         


8,5         




 

Образцы воздуха, взятые в каждой точке, должны иметь достаточный
объем, чтобы в любом образце было обнаружено, по крайней мере, 20 частиц
каждого размера согласно табл. 2.

Объем образца воздуха должен быть не менее 0,00283 куб. м (2,83
литра). Результаты вычислений объемов образцов не должны округляться.

Время взятия образца вычисляется делением объема образца на
произведение скорости воздушного потока в точке измерения и площади входного
сечения пробоотборника.

                                                      4

    Пример. Объем  
отбираемой  пробы  10 
литров  (10  куб. 
см),

                                                      -1

скорость воздушного потока в
точке измерения 20 см x с  ,  площадь

входного сечения
пробоотборника 5 кв.  см. Тогда время
пробоотбора

        2      4

равно 10  с (10 
/ (20 x 5)).

Пробоотбор должен удовлетворять условию изокинетичности (скорость
поступления воздуха в пробоотборник должна совпадать по величине и по
направлению со скоростью воздушного потока в окружающей среде). В этом случае
концентрация регистрируемых частиц совпадает с концентрацией частиц в
детектируемой точке. В случае неизокинетического отбора пробы (при этом входное
отверстие пробоотборника <*> необходимо ориентировать перпендикулярно
направлению скорости воздушного потока в детектируемой точке) связь между концентрацией
частиц в пробе с концентрацией их в детектируемой точке задается формулой
(C-1), приведенной в Приложении C.

    --------------------------------

<*> Пробоотборник представляет собой полый цилиндр, через
который воздух поступает в измерительный блок прибора. Входное отверстие -
основание полого цилиндра.

 

4.1.8. Объем пробоотбора при других (нестандартных) классах
чистоты и размерах частиц определяется следующим образом: объем проб для
классов чистоты или размеров частиц, не представленных в таблице 2, будет таким
же, как для следующего меньшего в числовом выражении класса чистоты или размера
частиц.

4.1.9. Статистическая обработка данных по результатам измерения
концентрации частиц с целью аттестации класса чистоты воздуха по частицам
должна осуществляться в соответствии с параграфом 4.4.

4.2. Текущий контроль класса чистоты воздуха. После процедуры
аттестации класс чистоты воздуха по частицам периодически контролируется
текущими измерениями. Текущий контроль заключается в измерении концентрации и размера
частиц.

4.2.1. План текущего контроля должен составляться исходя из
требуемого класса чистоты воздуха по частицам и необходимой частоты контроля в
интересах осуществления производственной деятельности или защиты создаваемой
продукции. План текущего контроля определяет требования к частоте контроля;
условиям функционирования чистой комнаты (зоны); методу подсчета частиц; к
количеству и местоположению точек, в которых осуществляется отбор проб, к числу
отбираемых проб воздуха в каждой точке, а также указывает метод интерпретации
получаемых данных. План текущего контроля составляется ГИСК им. Л.А. Тарасевича
и утверждается органами госкомсанэпиднадзора.

4.2.2. Подсчет частиц производится с использованием одного из
методов, указанных в параграфе 4.3 с учетом "спецификации". Измерения
концентрации частиц должны осуществляться в точках пробоотбора, расположенных
по всей чистой зоне или в тех местах, где уровень чистоты является наиболее
критичным или где в процессе контроля обнаружены наиболее высокие уровни
концентрации частиц. Пробы воздуха должны браться в пределах чистой зоны.

4.3. Методы и аппаратура для измерения концентрации частиц в
воздухе. Метод и аппаратура, предназначенные для измерения концентрации частиц
в воздухе, должны выбираться исходя из интересующего размера частиц. Если это
особо не "оговорено спецификацией", то для аттестации и текущего
контроля чистоты воздуха следует применять метод, изложенный в п. 4.3.1. Другие
методы и аппаратура могут быть использованы, если они демонстрируют точность и
воспроизводимость такую же или лучшую, чем описанные ниже методы и аппаратура.

4.3.1. Для измерения концентрации частиц размером 0,1 микрометра
и более в соответствии с Приложением A должен использоваться оптический счетчик
частиц. Используемый для аттестации и контроля прибор по своим техническим и
метрологическим характеристикам должен отвечать всем необходимым требованиям.
Для определения концентрации частиц в воздухе могут использоваться только
данные, получаемые на периодически калибруемых и поддерживаемых в исправном
состоянии счетчиках. Данные о размерах частиц будут представляться в значениях
эквивалентного диаметра, получаемого при калибровке с использованием
калибровочных стандартных частиц.

4.3.2. Счетчики частиц не должны применяться для подсчета
концентраций частиц в областях их размеров, превышающих верхний предел,
установленный изготовителем счетчиков.

4.4. Статистическая обработка результатов измерений. Обработка
данных по концентрации частиц в воздухе с целью аттестации класса чистоты должна
осуществляться в соответствии с методом, изложенным в п. п. 4.4.1.1 - 4.4.1.5.

4.4.1. Соответствующий класс чистоты считается достигнутым, если:

а) среднее значение концентрации частиц по всем точкам
пробоотбора равно или меньше нижней границы, соответствующей данному классу;

б) среднее приведенное значение концентрации частиц равно или
меньше нижней границы, соответствующей данному классу с учетом 95%
доверительного интервала.

    4.4.1.1. Средняя 
концентрация  частиц (A) в точке
пробоотбора

определяется как частное от
деления суммы значений  индивидуальных

замеров  (C ) 
на  число  проб, 
взятых  в  данном месте (N),  как

           1

показано в уравнении
(4-1).  При проведении только  одного 
замера

средняя   концентрация   частиц 
соответствует  измеренному  числу

частиц.

 

 

                 
┌────────────────────────────┐

                  │ A = (C 
+ C  ... + C ) / N │             (4-1)

                  │      
1    2        N      │

                 
└────────────────────────────┘

 

    4.4.1.2. Приведенное  
значение   средних  величин. 
(M)  есть

частное от деления суммы
средних  значений  (A ) 
на  число  точек

                                              1

пробоотбора (L), как
показано в уравнении (4-2).

 

                 ┌──────────────────────────────┐

                 │ M = (A 
+ A  + ... + A ) / L │            (4-2)

                 │      
1    2          L      │

                
└──────────────────────────────┘

 

    4.4.1.3. Стандартное 
отклонение  (СО)  от 
средних   значений

определяется  как 
корень  квадратный  из сумм квадратов разностей

между индивидуальными
средними значениями и приведенным 
значением

средних величин,  поделенных на уменьшенное на единицу число
точек

пробоотбора, как показано в
уравнении (4-3).

 

       ┌──────────────────────────────────────────────────┐

       │          
______________________________________ │

       │         
/       2           2                 2 │

       │        
/(A  - M)  + (A 
- M)  + ... + (A  - M) 
│

       │        /   1          
2                 L       │  (4-3)

       │ СО = \/ ---------------------------------------  │

       │                        L - 1                     │

      
└──────────────────────────────────────────────────┘

 

    4.4.1.4. Стандартная 
ошибка (C) приведенного значения средних

величин  (M) 
определяется  путем  деления 
величины  стандартн