ловиях │

             │операционные     возможности     блоков
│

             │числового программного управления;      │

             │          
                             │

2.5.3.6.     │Технологии для      
применения       в │

             │неорганических   чисто    поверхностных
│

             │покрытиях 
или неорганических покрытиях │

             │с 
модификацией  поверхности   изделия, │

            
│отмеченных   в   графе 
"Результирующее │

             │покрытие"    нижеследующей    
таблицы; │

             │неэлектронных      слоевых     покрытий
│

             │(субстратов),  
отмеченных   в    графе │

             │"Подложки"    нижеследующей   
таблицы; │

             │процессов,   
отмеченных    в     графе │

             │"Наименование     процесса    нанесения
│

             │покрытия"   нижеследующей  
таблицы   и │

             │определенных техническим примечанием    │

 

                    Таблица к пункту 2.5.3.6.

             
Технические приемы осаждения покрытий

 

─────────────────┬────────────────────┬───────────────────────────

  
Наименование  │      Подложки      │       Результирующее

    
процесса    │                    │          покрытие

   
нанесения    │                    │

    
покрытия    │                    │

─────────────────┼────────────────────┼───────────────────────────

1. Химическое    │суперсплавы         │ алюминиды для   внутренних

  
осаждение     │                    │ каналов

  
паров         │                    │

                 │керамика и стекла с │ силициды,
карбиды,    слои

                 │малым коэффициентом │ диэлектриков
(15)

                 │расширения (14) <*> │

    --------------------------------

    <*> См.  пункт примечаний  к данной  таблице,  соответствующий

указанному в скобках.

 

                 │углерод-углерод,    │ силициды,        
карбиды,

                 │керамика          и │ тугоплавкие металлы, смеси

                 │композиционные      │ перечисленных        
выше

                 │материалы         с │ материалов (4),       слои

                 │металлической       │ диэлектриков (15),

                 │матрицей            │ алюминиды,          сплавы

                 │                   
│ алюминидов (2)

                 │                    │

                 │цементированный     │ карбиды, вольфрам,  
смеси

                 │карбид              │ перечисленных         выше

                 │вольфрама (16),     │ материалов   
(4),    слои

                 │карбид кремния      │ диэлектриков (15)

                 │                    │

                 │молибден и      его │ слои диэлектриков (15)

                 │сплавы              │

                 │           
        │

                 │бериллий и      его │ слои диэлектриков (15)

                 │сплавы              │

                 │                    │

                 │материалы      окон │ слои диэлектриков (15)

                 │датчиков (9)        │

                 │                    │

2. Физическое    │                    │

  
осаждение     │                    │

  
паров         │                    │

  
термовыпа-    │                    │

  
риванием      │                    │

                 │                   
│

2.1. Физическое  │суперсплавы         │ сплавы силицидов,   сплавы

    
осаждение   │                    │ алюминидов   (2),  
MCrAlX

    
паров       │                    │ (5),
модифицированные виды

    
электронным │                    │ циркония  (12), 
силициды,

    
лучом       │                    │ алюминиды,           смеси

                 │                    │ перечисленных         выше

                 │                    │ материалов (4)

                 │                    │

                 │керамика и стекла с │ слои
диэлектриков (15)

                 │малым коэффициентом │

                 │расширения (14)     │

                 │                    │

                 │коррозиестойкие     │ MCrAlX               
(5),

                 │стали (7)           │ модифицированные      виды

                 │                    │ циркония    (12),    смеси

                 │                    │ перечисленных         выше

                 │                    │ материалов (4)

                 │                    │

                 │углерод-углерод,    │ силициды,        
карбиды,

                 │керамика          и │ тугоплавкие металлы, смеси

                 │композиционные      │ перечисленных        
выше

                 │материалы        
с │ материалов    (4),    слои

                 │металлической       │ диэлектриков (15)

                 │матрицей            │

                 │                    │

                 │цементированный     │ карбиды, вольфрам,  
смеси

                 │карбид              │ перечисленных         выше

                 │вольфрама (16),     │ материалов   
(4),    слои

                 │карбид кремния      │ диэлектриков (15)

                 │                    │

                 │молибден и      его │ слои диэлектриков (15)

                 │сплавы              │

                 │                    │

                 │бериллий и      его │ слои   
диэлектриков (15),

                 │сплавы              │ бориды

                 │                    │

                 │материалы      окон │ слои диэлектриков (15)

                 │датчиков (9)        │

                 │                    │

                 │титановые    сплавы │ бориды, нитриды

                 │(13)                │

                 │                    │

2.2. Физическое  │керамика и стекла с │ слои
диэлектриков (15)

    
осаждение   │малым
коэффициентом │

    
паров с     │расширения
(14)     │

    
ионизацией  │                    │

    
посредством │углерод-углерод,   
│ слои диэлектриков (15)

    
резистивного│керамика         
и │

    
нагрева    
│композиционные     
│

    
(ионное     │материалы         с │

    
гальвани-  
│металлической      
│

    
ческое      │матрицей            │

    
покрытие)   │                    │

                 │цементированный     │ слои диэлектриков (15)

                 │карбид              │

                 │вольфрама (16),     │

                 │карбид кремния      │

                 │                    │

                 │молибден и      его
│ слои диэлектриков (15)

                 │сплавы              │

                 │                    │

                 │бериллий и      его │ слои диэлектриков (15)

                 │сплавы              │

                 │      
             │

                 │материалы      окон │ слои диэлектриков (15)

                 │датчиков (9)        │

                 │                    │

2.3. Физическое  │керамика и стекла с │
силициды,             слои

    
осаждение   │малым коэффициентом
│ диэлектриков (15)

    
паров:      │расширения
(14)     │

    
выпаривание │                   
│

    
лазером    
│углерод-углерод,   
│ слои диэлектриков (15)

                 │керамика          и │

                 │композиционные      │

                 │материалы        
с │

                 │металлической       │

                 │матрицей            │

                 │                    │

                 │цементированный     │ слои диэлектриков (15)

                 │карбид              │

                 │вольфрама (16),     │

                 │карбид кремния      │

                 │                    │

                 │молибден и      его │ слои диэлектриков (15)

                 │сплавы              │

                 │                    │

                 │бериллий и      его │ слои диэлектриков (15)

                 │сплавы              │

                 │                    │

                 │материалы      окон │ слои диэлектриков    (15),

                 │датчиков (9)        │ алмазоподобный углерод

                 │                    │

2.4. Физическое  │суперсплавы         │ сплавы силицидов,   сплавы

    
осаждение   │                    │ алюминидов (2),
MCrAlX (5)

    
паров:      │                    │

    
катодный    │полимеры
(11)     и │ бориды, карбиды,
нитриды

    
дуговой    
│композиционные     
│

    
разряд      │материалы         с │

                 │органической        │

                 │матрицей            │

                 │                    │

3. Цементация    │углерод-углерод,    │ силициды, карбиды,   смеси

  
(10)         
│керамика          и
│ перечисленных         выше

                 │композиционные      │ материалов (4)

                 │материалы         с │

                 │металлической       │

                 │матрицей            │

                 │                    │

                 │сплавы титана (13)  │ силициды,       алюминиды,

                 │                    │ сплавы алюминидов (2)

                 │                    │

 
               │тугоплавкие
металлы │ силициды, оксиды

                 │и сплавы (8)        │

                 │                    │

4. Плазменное    │суперсплавы         │ MCrAlX (5),

  
напыление     │                    │
модифицированные      виды

 
               │                    │ циркония    (12),   
смеси

                 │                    │ перечисленных         выше

                 │                    │ материалов (4),  эрозионно

                 │                    │ стойкий     никель-графит,

                 │                    │ эрозионно стойкий  никель

                 │                    │ хром-алюминий-бентонит,

                 │                    │ эрозионно          стойкий

                 │                    │ алюминий-кремний-полиэфир,

                 │                    │ сплавы алюминидов (2)

                 │                    │

                 │алюминиевые         │ MCrAlX (5),

                 │сплавы (6)          │ модифицированные      виды

                 │                    │ циркония  (12),  с