│всеми следующими показателями:          │

             │а) процесс 
модифицирован для одного из │

             │следующих методов:                      │

             │1) пульсирующего CVD;                   │

             │2) управляемого            термического │

             │разложения с ядерным дроблением (CNTD); │

             │или         
                           │

             │3) усиленного 
плазмой  или  с 
помощью │

             │плазмы CVD; и                           │

             │б) включает  
какой-либо  из  следующих │

             │способов:                               │

  
          │1)
использующий  высокий вакуум (равный
│

             │или 
менее  0,01  Па) 
для   уплотнения │

             │вращением; или                          │

             │2) использующий    средства    контроля
│

             │толщины слоя покрытия на месте;         │

             │                                        │

2.2.5.2.     │Управляемое встроенной       программой │854319000

             │производственное   оборудование  ионной
│

             │имплантации с силой тока луча 5 мА  или │

 
           │более;                                  │

             │                                        │

2.2.5.3.     │Управляемое встроенной       программой │854389900

             │производственное    оборудование    для
│

             │физического осаждения паров электронным │

             │лучом (EB-PVD),  имеющее все  следующие
│

             │составляющие:                           │

             │а) системы 
электропитания  с расчетной
│

             │мощностью свыше 80 кВт;                 │

             │б)
лазерную  систему управления уровнем
│

             │в 
заливочной  ванне,   которая  
точно │

             │регулирует 
скорость  подачи  исходного │

             │вещества; и                             │

             │в) управляемый 
компьютером регистратор │

             │скорости,  
работающий   на    принципе │

             │фотолюминесценции ионизированных атомов │

             │в  
потоке   пара,   необходимый    для │

             │нормирования     скорости     осаждения
│

             │покрытия, 
содержащего  два  или 
более │

             │элемента;                               │

             │                                        │

2.2.5.4.     │Управляемое встроенной       программой │841989300;

             │производственное           оборудование │841989950

             │плазменного напыления, обладающее любой │

             │из следующих характеристик:             │

             │а) работающее     при     уменьшающемся
│

             │давлении   
контролируемой    атмосферы │

             │(равной 
или  менее 10 кПа,  измеряемой │

             │выше и внутри 300 мм выходного  сечения │

             │сопла 
плазменной  горелки) в вакуумной
│

             │камере, способной обеспечивать снижение │

             │давления 
до  0,01  Па, 
предшествующее │

             │началу процесса напыления; или          │

             │б) имеющее 
в  своем  составе 
средства │

             │контроля толщины слоя покрытия;         │

             │                                        │

2.2.5.5.     │Управляемое встроенной       программой │841989300;

             │производственное           оборудование │841989950

             │металлизации   
напылением,   способное │

             │обеспечить плотность тока 0,1 мА/кв. мм │

             │или    более,  
с   производительностью │

             │напыления 15 мкм/ч или более;           │

             │                                        │

2.2.5.6.     │Управляемое встроенной       программой │854389900

             │производственное           оборудование │

             │катодно-дугового  напыления, включающее │

             │систему 
электромагнитов для управления │

             │плотностью тока дуги на катоде;         │

             │                                        │

2.2.5.7.     │Управляемое встроенной       программой │854389900

             │производственное   оборудование  ионной
│

             │металлизации, 
позволяющее осуществлять │

             │на месте любое из следующих измерений:  │

             │а) толщины 
слоя  подложки  и 
величины │

             │производительности; или                 │

             │б) оптических характеристик             │

             │   
Примечание. По   пунктам   2.2.5.1, │

             │2.2.5.2, 2.2.5.5,  2.2.5.6 и 2.2.5.7 не │

             │контролируется оборудование химического │

             │парового  
осаждения,  катодно-дугового
│

             │напыления, капельного осаждения, ионной │

             │металлизации 
или  ионной  имплантации, │

             │специально разработанное  для 
покрытия │

             │режущего    
инструмента     или    для │

             │механообработки.                        │

             │                                        │

2.2.6.       │Системы или 
оборудование для измерения │

             │или контроля размеров, такие как:       │

             │                                        │

2.2.6.1.     │Управляемые ЭВМ, с числовым программным
│903180310

             │управлением,  
управляемые   встроенной │

             │программой 
машины  контроля  размеров, │

             │имеющие 
погрешность измерения длины по │

             │трем осям, 
равную  или  менее 
(лучше) │

             │(1,7  
+   L/1000)   мкм 
(L  -  длина, │

             │измеряемая в миллиметрах),  тестируемую │

             │в   
соответствии    с    международным │

             │стандартом ИСО 10360-2;                 │

             │                                        │

2.2.6.2.     │Измерительные инструменты для  линейных │

             │или угловых перемещений, такие как:     │

             │                                        │

2.2.6.2.1.   │Измерительные инструменты  для линейных │903149900;

             │перемещений, имеющие любую из следующих
│903180310;

             │составляющих:                           │903180510;

 
           │а)
измерительные системы бесконтактного │903180590

             │типа с разрешающей способностью, равной │

             │или  
менее   (лучше)   0,2  
мкм,  при │

             │диапазоне измерений до 0,2 мм;          │

             │б) системы   с   линейным  регулируемым │

             │дифференциальным       преобразователем │

             │напряжения    
с    двумя    следующими │

             │характеристиками:                       │

             │1) линейностью,   равной   или   меньше │

             │(лучше)
0,1%,  в диапазоне измерений до │

             │5 мм; и                                 │

             │2) отклонением,  равным   или   меньшим │

             │(лучшим) 0,1% 
в день,  при стандартных │

             │условиях  
с   колебанием    окружающей │

             │температуры +/- 1 K; или                │

             │в) измерительные системы,  имеющие 
все │

             │следующие составляющие:                 │

             │1) содержащие лазер; и                  │

             │2)
эксплуатируемые     непрерывно    по │

             │крайней мере 12  часов  при  колебаниях │

             │окружающей    
температуры  +/- 1 K при │

             │стандартных 
температуре  и   давлении, │

             │имеющие все следующие характеристики:   │

             │разрешение на    их    полной     шкале │

             │составляет 
0,1 мкм или меньше (лучше); │

             │и                                       │

             │погрешность измерения  равна или меньше │

             │(лучше) (0,2 + L/2000) мкм (L -  длина, │

             │измеряемая в миллиметрах)               │

             │   
Примечание. По пункту 2.2.6.2.1 
не │

             │контролируются            измерительные │

             │интерферометрические    системы     без │

             │обратной связи с замкнутым или открытым │

             │контуром,   
содержащие    лазер    для │

             │измерения   
погрешностей   перемещения
│

             │подвижных  
частей   станков,   средств │

             │контроля  
 размеров    или  
подобного │

             │оборудования.                           │

             │                                        │

2.2.6.2.2.   │Угловые измерительные    
приборы     с │903149900;

             │отклонением углового положения,  равным │903180310;

             │или меньшим (лучшим) 0,00025 град.      │903180510;

             │   
Примечание. По  пункту 2.2.6.2.2
не │903180590

             │контролируются оптические      приборы, │

             │такие как автоколлиматоры, использующие │

             │коллимированный   свет   для   фиксации │

             │углового смещения зеркала.              │

             │                                        │

2.2.6.3.     │Оборудование для измерения  неровностей │903149900

             │поверхности 
с  применением оптического
│

             │рассеяния  
как   функции    угла,   
с │

             │чувствительностью  0,5  нм  или 
меньше │

             │(лучше)                                 │

             │   
Примечания. 1.  Станки,     которые │

             │могут быть  
использованы   в  качестве │

             │средств измерения,  подлежат  контролю,
│

             │если 
их  параметры  соответствуют  или │

             │превосходят критерии, установленные для │

             │функций  
станков   или   измерительных │

             │приборов.                               │

             │    2.
Системы,        указанные      в │

             │пункте 2.2.6, подлежат  контролю, 
если │

             │они 
по  своим параметрам     превышают │

            
│подлежащий  контролю
уровень где-либо в │

             │их рабочем диапазоне.                   │

             │                                        │

2.2.7.       │Нижеперечисленные роботы  и  специально
│847950000;

             │спроектированные  контроллеры и рабочие │853710100;

             │органы для них:                         │853710910;

             │а) способные  
в   реальном    масштабе │853710990

             │времени 
полно  отображать  процесс или │

             │объект в   
 трех     измерениях      с
│

             │генерированием     или     модификацией
│

             │программ 
или  с   генерированием   или
│

             │модификацией 
цифровых  программируемых │

             │данных                                  │

 
           │    Примечание.   Ограничения        по
│

             │указанному процессу  или   объекту   не │

             │включают    
аппроксимацию     третьего
│

             │измерения 
через  заданный   угол  
или │

             │интерпретацию     через    ограниченную
│

             │пределами шкалу для восприятия  глубины │

             │или  
текстуры   модификации    заданий │

             ^